产品概述：
APD/PIN 光电传感器响应度测试仪（OTES-APD/PIN）用于测试光电探测器的光学性能参数、电学性能参数，该测试系统的主要组成模块有探针台、测试激励光源模块、显微系统、测试设备、软件控制、其他设备。
产品特点：
1) 可与各类探针台搭配用，测试光电探测器晶圆级光学性能、电学性能参数；
2) 可根据具体器件需求选择或扩展测试激励光源，激励光源光功率实现连续可调并全程实时监控光功率，兼容光源波段覆盖400nm~1700nm；
3) 搭载自主研发的显微系统，将测试激励光源、成像光路、照明光源的中心调节于一点，为光电测试提供测试光源光路的同时兼顾了显微成像、外观检测功能；
4) 强大的软件控制功能，对探针台、激励光源、CCD画面监控、测试设备等进行通信控制，实现了测试的数据自动采集、自动分析、自动生成报告；
5) 为客户提供不同的测试模式：手动测试、单项自动测试、全项自动测试。
产品应用：
广泛应用于I-V/C-V特性测试、暗电流/电压测试、光谱响应度/量子效率测试、上升沿/下降沿测试、通道串扰（多个象限器件）测试、放大器衰减倍数测试等。
技术参数：
表1-4 APD/PIN 光电传感器响应度测试仪（OTES-APD/PIN） |
激励光源模块 |
激励光源兼容波段 | 400nm~1700nm |
激励光源光纤接口 | SMA905、FC |
光功率监测波段 | 400nm~1100nm或950nm~1700nm |
光功率监测范围 | 100pW-5mW |
显微系统 |
光纤接口 | SMA905 |
工作温度 | -5~40℃ |
变倍范围 | 显微物镜倍率✕ (0.7~4.5) |
物镜切换器 | 4孔，M26✕0.705 |
显微物镜 | 倍率 | 5✕、10✕、20✕、50✕、100✕ |
齐焦距离 | 95mm |
工业相机 | 分辨率 | 1920✕1200 |
帧速率 | 42 fps |
传感器 | 1/1.2" |
探针台 |
测试晶圆尺寸 | 6inch、8 inch |
测试晶圆厚度 | 300μm~1000μm |
探针座 | 4个，标配10μm探针 |
三轴行程 | 350mm✕400mm✕20mm |
往返重复精度 | ≤±1um |
绝对定位精度 | ≤±2um |
解析度 | 0.1um |
角度行程 | ±10° |
角度精度 | 0.0001° |
显微镜X-Y-Z移动平台重复定位精度 | ≤±2um |
漏电流 | ＜1pA |
抗震 | 一体化防震，震动恢复时间小于1s |
测试机 |
示波器 | 模拟通道 | 4 条 |
带宽 | 1 GHz |
采样率 | 最高 5GS/s |
记录长度 | 所有通道上 10 M |
最大波形捕获速率 | >280,000 wfm/s |
标配无源电压探头 | 3.9 pF 容性负载 |
标配频谱分析仪 | 250 MHz |
标配频率范围 | 9 kHz - 1 GHz |
输入灵敏度范围 | 50Ω 1 mV/div ~ 1 V/div |
阻抗分析仪 | 测量频率 | 20Hz~30MHz |
基本阻抗测量精度 | ±0.08%（±0.045% 典型值） |
测量参数 | |Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、复数 Z、复数 Y、Vac、Iac、Vdc、Idc |
内置直流偏置源 | 0至±40 V，0至±100 mA |
显示屏 | 10.4英寸彩色LCD触摸屏可显示4个通道 |
数据分析功能 | 等效电路分析、极限线测试 |
源表 | 分辨率源 | 6½ 位 |
电压量程 | 1100V |
电流量程 | 1 A |
功率 | 20W |
基本精度 | 0.01% |
测量分辨率 | 10fA |
通信接口 | GPIB, USB, Ethernet (L✕I) |
整机尺寸（L✕W✕H） | 2620mm✕1825mm✕1913mm |
