产品概述：
光电探测器晶圆级测试仪(OTES-Wafer)系用于测试光电探测器晶圆级光学性能参数、电学性能参数，该测试系统的主要组成模块有探针台、测试激励光源、显微系统、测试机、软件控制、其他设备。
产品特点：
1) 探测器测试系统可与各类探针台兼容；
2) 激励光源光功率可连续调节实时监控；
3) 兼容光源波段覆盖400nm~1700nm；
4) 搭载我方显微系统，提供测试光源光路同时兼顾显微成像、外观检测功能；
5) 数据自动采集、分析，自动生成报告；
6) 模式有手动测试、单项/全项自动测试。
产品应用：
广泛应用于I-V/C-V特性测试、暗电流/电压测试、光谱响应度/量子效率测试、上升沿/下降沿测试、通道串扰（多个象限器件）测试、放大器衰减倍数测试等。
技术参数：
表1-1 光电探测器晶圆级测试仪（ OTES-Wafer )技术参数 |
模块 | 技术参数 |
整机尺寸（L×W×H） | 1000mm×800mm×900mm |
阻
抗
分
析
仪 | 测量频率 | 20Hz~30MHz |
基本阻抗测量精度 | ±0.08%（±0.045% 典型值） |
测量参数 | |Z|、|Y|、θ、R、X、G、 |
B、L、C、D、Q、复数 Z、复数 Y、 |
Vac、Iac、Vdc、Idc |
内置直流偏置源 | 0~±40 V，0~±100 mA |
源
表 | 显示屏 | 10.4英寸彩色LCD触摸屏可显示4个通道 |
数据分析功能 | 等效电路分析、极限线测试 |
分辨率源 | 6½ 位 |
电压量程 | 1100V |
电流量程 | 1 A |
功率 | 20W |
基本精度 | 0.0001 |
测量分辨率 | 10fA |
通信接口 | GPIB, USB, Ethernet (LXI) |
激
励
光
源 | 激励光源兼容波段 | 400nm~1700nm |
激励光源光纤接口 | SMA905、FC |
光功率监测波段 | 400nm~1100nm或950nm~1700nm |
光功率监测范围 | 100pW-5mW |
显
微
系
统 | 光纤接口 | SMA905 |
工作温度 | -5~40℃ |
变倍范围 | 显微物镜倍率× (0.7~4.5) |
物镜切换器 | 4孔，M26×0.705 |
显微物镜 | 倍率 | 5×、10×、20×、50×、100× |
齐焦距离 | 95mm |
工业相机 | 分辨率 | 1920×1200 |
帧速率 | 42 fps |
传感器 | 1/1.2" |
探
针
台 | 测试晶圆尺寸 | 6inch、8 inch |
测试晶圆厚度 | 300μm~1000μm |
探针座 | 4个，标配10μm探针 |
三轴行程 | 350mm×400mm×20mm |
往返重复精度 | ≤±1um |
绝对定位精度 | ≤±2um |
解析度 | 0.1um |
角度行程 | ±10° |
角度精度 | 0.0001° |
显微镜X-Y-Z移动平台重复定位精度 | ≤±2um |
漏电流 | ＜1pA |
抗震 | 一体化防震，震动恢复时间小于1s |
示
波
器 | 模拟通道 | 4 条 |
带宽 | 1 GHz |
采样率 | 最高 5GS/s |
记录长度 | 所有通道上 10 M |
最大波形捕获速率 | >280,000 wfm/s |
标配无源电压探头 | 3.9 pF 容性负载 |
标配频谱分析仪 | 250 MHz |
标配频率范围 | 9 kHz - 1 GHz |
输入灵敏度范围 | 50Ω 1 mV/div ~ 1 V/div |
