模块

技术参数

尺寸(L×W×H)

600mm✕450mm✕550mm

重量

20 kg

相机

像素

630万

感光尺寸

1/1.8’

像素尺寸

2.4uμm✕2.4μm

分辨率

3088H✕2064V

光学接口

C接口

手动变倍镜头

分辨率

9.9um~3.8um

景深

1.7mm~0.1mm

工作距离

94mm

放大倍率

0.7×~4.5×

镜架调节架

调节行程

调节精度

Z方向

±35mm

0.02mm

X俯仰

±5°

±0.01°

Y俯仰

±5°

±0.01°

二维显微观察系统总体视野

放大倍率

0.7×

1×

2×

3×

4×

4.5×

视野

7.2×10.4
(mm×mm)

5.03×7.27
(mm×mm)

2.52×3.64

(mm×mm)

1.68×2.42
(mm×mm)

1.26×1.82
(mm×mm)

1.12×1.62
(mm×mm)

高精度多维光纤对位台

X、Y、Z轴粗调行程

≥5mm

X、Y、Z轴细调行程

≥0.2mm

X、Y、Z轴细调分辨率

≥0.0006mm

θz角调节范围

≥±2º

θy角调节范围

≥±2º

θz精度

≤100＂

θy精度

≤100＂

X、Y调节范围

±6.5mm

波导夹具三维调节座

X、Y调节精度

0.01mm

Z轴调节范围

±5mm

Z轴调节精度

0.01mm